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Domaine de mesure AsH3 mini 0 à 0,3 ppm, maxi 0 à 20 ppm / B2H6 mini 0 à 0,3 ppm, maxi 0 à 15 ppm / PH3 mini 0 à 0,3 ppm, maxi 0 à 20 ppm / SiH4 mini 0 à 1 ppm, maxi 0 à 50 ppm Capteur électrochimique 3 électrodes, compensé en température. Durée de vie supérieure à 36 mois